我々の研究グループでは、エリプソ顕微鏡の開発において、光学設計から解析までを対象とした基礎研究と、微細パターンを高精度かつ高速に評価するための応用研究に取り組んでいます。 エリプソ顕微鏡は、試料に偏光を斜め入射し、試料を斜め観測することで生じる振幅反射率の変化から、試料表面を高空間分解能で評価する装置です。 ◆研究成果ポスターはこちらよりご覧ください
