産業技術センター
富永裕輝
次世代デバイス材料評価を目的として、簡便かつ広帯域な誘電率測定手法を提案した。試料をマイクロストリップライン間に挿入する測定治具と新たな計算手法を用いることで、寸法精度によらない広帯域測定を実現した。その結果、誘電率実部は33 MHz～40 GHzで誤差10％以下となり、本手法の有効性を確認した。
投稿日：2026年10月21日
電子・情報
産業技術センター
富永裕輝
次世代デバイス材料評価を目的として、簡便かつ広帯域な誘電率測定手法を提案した。試料をマイクロストリップライン間に挿入する測定治具と新たな計算手法を用いることで、寸法精度によらない広帯域測定を実現した。その結果、誘電率実部は33 MHz～40 GHzで誤差10％以下となり、本手法の有効性を確認した。